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Auch bekannt als ‚Kathodenzerstäuben‘ oder ‚Sputtern‘ allgemein. Positive Ionen eines Prozessgases wie z. B. Argon werden auf ein negativ gepoltes Target beschleunigt und zerstäuben das Target. Nur elektrisch neutrale Atome sind in der Lage, die hohe Potenzialdifferenz vor dem Target zu überwinden, und sich mit Energien von sehr wenigen Elektronenvolt auf die Substrate zubewegen zu können.
Man unterscheidet folgende Varianten:
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