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Mikrohärte nach Fischer
Zur Härte-Bestimmung einer Beschichtung, die die Resistenz der Schicht gegen lokale äußere Krafteinwirkung beschreibt, kommen Verfahren wie die Bestimmung der Knoop-Härte bzw. der Vickers- Härte zum Einsatz.
Besonders bei hauchdünnen Beschichtungen kommt es auf die Schichtdicke zur Bestimmung der Härte an. Angewandt werden Verfahren wie die Mikrohärte (das bedeutet geringe Belastung und geringe Eindringtiefe des Vickersdiamanten) nach DIN 55676. Auch das E-Modul einer Schicht lässt sich so bestimmen.
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